Mesebetsi e ka sehloohong ea tšehetso ea sekepe sa silicon carbide le tšehetso ea sekepe sa quartz e tšoana. Tšehetso ea sekepe sa silicon carbide e na le ts'ebetso e ntle haholo empa e theko e phahameng. E na le kamano e 'ngoe le ts'ehetso ea sekepe sa quartz lisebelisoa tsa ts'ebetso ea betri tse nang le maemo a thata a ho sebetsa (joalo ka lisebelisoa tsa LPCVD le lisebelisoa tsa phallo ea boron). Lisebelisoa tsa ts'ebetso ea betri tse nang le maemo a tloaelehileng a ho sebetsa, ka lebaka la likamano tsa theko, silicon carbide le tšehetso ea sekepe sa quartz e fetoha lihlopha tse phelisanang le tse hlōlisanang.
① Kamano ea phetisetso ho LPCVD le lisebelisoa tsa phallo ea boron
Thepa ea LPCVD e sebelisoa bakeng sa oxidation ea cell tunneling ea betri le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon. Molao-motheo oa ts'ebetso:
Tlas'a sepakapaka sa khatello e tlase, se kopantsoeng le mocheso o nepahetseng, karabelo ea lik'hemik'hale le sebopeho sa filimi ea deposition se fihlelleha ho lokisa lera le lesesaane la oxide le polysilicon. Ts'ebetsong ea oxidation ea oxidation le doped polysilicon layer layer, tšehetso ea sekepe e na le mocheso o phahameng oa ho sebetsa mme filimi ea silicon e tla beoa holim'a metsi. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea quartz e fapane haholo le ea silicon. Ha e sebelisoa ts'ebetsong e ka holimo, hoa hlokahala hore ho be le pickle kamehla ho tlosa silicon e behiloeng holim'a metsi ho thibela tšehetso ea sekepe sa quartz ho senya ka lebaka la ho atolosoa ha mocheso le ho fokotseha ka lebaka la coefficient e fapaneng ea ho atolosa mocheso ho tloha silicon. Ka lebaka la ho kha khafetsa le matla a tlase a mocheso o tlase, sets'oants'o sa sekepe sa quartz se na le bophelo bo bokhuts'oane mme se nkeloa sebaka khafetsa ka har'a kotopo ea oxidation le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon, e eketsang haholo theko ea tlhahiso ea sele ea betri. Coefficient ea katoloso ea silicon carbide e haufi le ea silicon. Ts'ebetsong ea oxidation ea kotopo le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon, sets'oants'o sa seketsoana sa silicon carbide ha se hloke ho khethoa, se na le matla a phahameng a mocheso le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso, 'me ke mokhoa o mong o motle ho feta oa seketsoana sa quartz.
Thepa ea katoloso ea Boron e sebelisoa haholo-holo bakeng sa ts'ebetso ea ho etsa li-doping boron element ho mofuta oa N-silicon wafer substrate ea sele ea betri ho lokisa emitter ea mofuta oa P ho theha mateano a PN. Molao-motheo oa ts'ebetso ke ho lemoha karabelo ea lik'hemik'hale le sebopeho sa filimi ea limolek'hule sebakeng sa mocheso o phahameng. Ka mor'a hore filimi e thehoe, e ka fetisoa ke mocheso o phahameng oa mocheso ho lemoha mosebetsi oa doping oa holim'a silicon wafer. Ka lebaka la mocheso o phahameng oa ho sebetsa oa thepa ea katoloso ea boron, sets'oants'o sa sekepe sa quartz se na le matla a tlase a mocheso o phahameng le bophelo bo khuts'oane ba ts'ebeletso ho thepa ea ho atolosa boron. Sets'oants'o sa seketsoana sa silicon carbide se kenyellelitsoeng se na le matla a phahameng a mocheso 'me ke mokhoa o mong o motle ho feta oa seketsoana sa quartz ts'ebetsong ea katoloso ea boron.
② Kamano ea ho fetola lisebelisoa tse ling tsa ts'ebetso
Litšehetso tsa sekepe sa SiC li na le bokhoni bo tiileng ba tlhahiso le ts'ebetso e ntle haholo. Litheko tsa bona hangata li phahame ho feta tsa li-quartz boat supports. Maemong a tloaelehileng a ts'ebetso ea lisebelisoa tsa lisebelisoa tsa lisele, phapang ea bophelo ba tšebeletso pakeng tsa litšehetso tsa sekepe sa SiC le litšehetso tsa sekepe sa quartz li nyenyane. Bareki ba tlase haholo ba bapisa le ho khetha pakeng tsa theko le ts'ebetso ho latela lits'ebetso le litlhoko tsa bona. Litšehetso tsa sekepe sa SiC le litšehetso tsa seketsoana sa quartz li se li le 'moho le tlholisano. Leha ho le joalo, phaello e felletseng ea litšehetso tsa sekepe sa SiC e batla e phahame hajoale. Ka ho theoha ha theko ea tlhahiso ea litšehetso tsa sekepe sa SiC, haeba theko ea thekiso ea sekepe sa SiC e tšehetsa e fokotseha ka mafolofolo, e tla boela e be le tlhōlisano e kholo ho litšehetso tsa sekepe sa quartz.
(2) Karolelano ea tšebeliso
Tsela ea theknoloji ea sele ke haholo-holo theknoloji ea PERC le theknoloji ea TOPCon. Kabelo ea 'maraka ea theknoloji ea PERC ke 88%,' me karolo ea 'maraka ea theknoloji ea TOPCon ke 8.3%. Karolo ea 'maraka e kopantsoeng ea bobeli ke 96.30%.
Joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong se ka tlase:
Ho thekenoloji ea PERC, litšehetso tsa likepe lia hlokahala bakeng sa phallo ea phosphorus e ka pele le lits'ebetso tsa annealing. Ho theknoloji ea TOPCon, litšehetso tsa seketsoana lia hlokahala bakeng sa phallo ea boron e ka pele, LPCVD, phallo ea phosphorus e ka morao le lits'ebetso tsa annealing. Hajoale, litšehetso tsa sekepe sa silicon carbide li sebelisoa haholo ts'ebetsong ea LPCVD ea theknoloji ea TOPCon, mme ts'ebeliso ea bona ts'ebetsong ea phallo ea boron e netefalitsoe haholo.
Setšoantšo sa Tšebeliso ea lithuso tsa seketsoana ts'ebetsong ea ts'ebetso ea lisele:
Tlhokomeliso: Ka mor'a ho roala ka pele le ka morao tsa theknoloji ea PERC le TOPCon, ho ntse ho e-na le mehato e kang ho hatisa skrine, ho sintering le ho hlahloba le ho hlophisa, tse sa kenyelletseng tšebeliso ea litšehetso tsa liketsoana 'me ha li thathamisitsoe setšoantšong se ka holimo.
(3) Mokhoa oa tsoelo-pele ea nakong e tlang
Nakong e tlang, tlas'a tšusumetso ea melemo e felletseng ea ts'ehetso ea seketsoana sa silicon carbide, katoloso e tsoelang pele ea bareki le phokotso ea litšenyehelo le ntlafatso ea ts'ebetso ea indasteri ea photovoltaic, karolo ea mmaraka ea litšehetso tsa sekepe sa silicon carbide e lebelletsoe ho eketseha le ho feta.
① Sebakeng sa ts'ebetso ea LPCVD le lisebelisoa tsa phallo ea boron, ts'ebetso e felletseng ea li-silicon carbide boat supports e betere ho feta ea quartz mme e na le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso.
② Katoloso ea bareki ba bahlahisi ba tšehetso ea sekepe sa silicon carbide e emeloang ke k'hamphani e boreleli. Bareki ba bangata indastering joalo ka North Huachuang, Songyu Technology le Qihao New Energy ba se ba qalile ho sebelisa litšehetso tsa sekepe sa silicon carbide.
③ Phokotso ea litšenyehelo le ntlafatso ea katleho e 'nile ea e-ba ho lelekisa indasteri ea photovoltaic. Ho boloka litšenyehelo ka lisele tse kholo tsa betri ke e 'ngoe ea lipontšo tsa ho fokotsa litšenyehelo le ntlafatso ea katleho indastering ea photovoltaic. Ka mokhoa oa lisele tse kholo tsa betri, melemo ea seketsoana sa silicon carbide boat ka lebaka la ts'ebetso ea bona e felletseng e tla totobala haholoanyane.
Nako ea poso: Nov-04-2024