KAROLO/1CVD (Chemical Vapor Deposition) mokhoa:Ho 900-2300℃, ho sebelisoa TaCl5 le CnHm joalo ka mehloli ea tantalum le carbon, H₂ e le sepakapaka se fokotsang, Ar₂e le khase e tsamaisang thepa, filimi ea deposition.Seaparo se lokiselitsoeng se kopane, se ts'oanang le bohloeki bo phahameng.Leha ho le joalo, ho na le mathata a mang ...
Bala haholoanyane