Ha ho etsoa li-semiconductor, ho na le mokhoa o bitsoang "etching" nakong ea ts'ebetso ea substrate kapa filimi e tšesaane e entsoeng holim'a substrate. Ntlafatso ea theknoloji ea etching e bile le seabo ho phethahatsa polelo e boletsoeng ke mothehi oa Intel, Gordon Moore, ka 1965, ea hore "matlapa a ho kopanya ha transistors a tla imena habeli lilemong tse 1.5 ho isa ho tse 2" (tseo hangata li tsejoang e le "Moore's Law").
Etching ha se ts'ebetso ea "tlatsetso" joalo ka deposition kapa tlamahano, empa ke ts'ebetso ea "subtractive". Ho phaella moo, ho latela mekhoa e fapaneng ea ho senya, e arotsoe ka mekhahlelo e 'meli, e leng "wet etching" le "dry etching". Ka mantsoe a bonolo, ea pele ke mokhoa oa ho qhibiliha 'me oa ho qetela ke mokhoa oa ho cheka.
Sehloohong sena, re tla hlalosa ka bokhutšoanyane litšoaneleho le liphapang tsa theknoloji e 'ngoe le e' ngoe ea etching, etching e metsi le etching e omileng, hammoho le libaka tsa kopo tseo e 'ngoe le e' ngoe e loketseng ho tsona.
Kakaretso ea ts'ebetso ea etching
Theknoloji ea etching ho boleloa hore e simolohile Europe bohareng ba lekholo la bo15 la lilemo. Ka nako eo, asiti e ne e tšeloa ka poleiti ea koporo e betliloeng ho senya koporo e se nang letho, ho etsa intaglio. Mekhoa ea kalafo ea holim'a metsi e sebelisang litlamorao tsa kutu e tsejoa haholo e le "etching."
Morero oa ts'ebetso ea etching tlhahisong ea semiconductor ke ho khaola substrate kapa filimi ho substrate ho latela setšoantšo. Ka ho pheta-pheta mehato ea ho itokisa ea ho etsa filimi, photolithography, le etching, sebopeho sa polane se sebetsoa ka sebopeho sa mahlakore a mararo.
Phapang pakeng tsa etching e metsi le etching e ommeng
Ka mor'a ts'ebetso ea photolithography, substrate e pepeneneng e kolobile kapa e omme e kenngoa ka mokhoa oa etching.
Etching e kolobileng e sebelisa tharollo ho thella le ho hohola bokaholimo. Le hoja mokhoa ona o ka sebetsoa ka potlako le ka theko e tlaase, bothata ba oona ke hore ho nepahala ha ho sebetsa ho fokotsehile hanyenyane. Ka hona, etching e omileng e hlahile hoo e ka bang ka 1970. Etching e omileng ha e sebelise tharollo, empa e sebelisa khase ho otla bokaholimo ba substrate ho e fata, e khetholloang ka ho nepahala ha ts'ebetso e phahameng.
"Isotropy" le "Anisotropy"
Ha o hlahisa phapang pakeng tsa ho omisa metsi le ho omella, mantsoe a bohlokoa ke "isotropic" le "anisotropic". Isotropy e bolela hore thepa ea tlhaho ea taba le sebaka ha e fetohe ka tataiso, 'me anisotropy e bolela hore thepa ea tlhaho ea taba le sebaka e fapana ho ea ka tataiso.
Isotropic etching e bolela hore etching e tsoela pele ka tekanyo e lekanang ho potoloha ntlha e itseng, 'me etching ea anisotropic e bolela hore etching e tsoela pele ka litsela tse fapaneng ho potoloha ntlha e itseng. Mohlala, ho etching nakong ea tlhahiso ea semiconductor, etching ea anisotropic hangata e khethoa e le hore feela moo ho hlahisoeng teng ho hlakoloe, ho siee litsela tse ling.
Litšoantšo tsa "Isotropic Etch" le "Anisotropic Etch"
Ho kolobisa ho sebelisa lik'hemik'hale.
Etching ea metsi e sebelisa karabelo ea lik'hemik'hale lipakeng tsa k'hemik'hale le substrate. Ka mokhoa ona, etching ea anisotropic ha e khonehe, empa e thata haholo ho feta etching ea isotropic. Ho na le lithibelo tse ngata mabapi le motsoako oa tharollo le lisebelisoa, 'me maemo a kang mocheso oa substrate, mahloriso a tharollo le palo ea tlatsetso e tlameha ho laoloa ka thata.
Ho sa tsotelehe hore na maemo a fetotsoe hantle hakae, ho thatafalloa ho koloba ho fihlela ts'ebetso e ntle ka tlase ho 1 μm. Lebaka le leng la sena ke tlhoko ea ho laola etching ea lehlakore.
Undercutting ke ketsahalo e tsejoang hape e le undercutting. Esita le haeba ho na le tšepo ea hore boitsebiso bo tla qhibiliha feela ka tataiso e otlolohileng (tataiso e tebileng) ka ho phunya metsi, ho ke ke ha khoneha ho thibela ka ho feletseng tharollo ho otla mahlakoreng, kahoo ho qhibiliha ha thepa ka tsela e tšoanang ho tla tsoela pele ka mokhoa o sa tsitsang. . Ka lebaka la ketsahalo ena, ho koloba ha metsi ho hlahisa likarolo tse fokolang ho feta bophara ba sepheo. Ka tsela ena, ha ho etsoa lihlahisoa tse hlokang taolo e nepahetseng ea hona joale, ho ikatisa ho tlaase 'me ho nepahala ha ho tšepahale.
Mehlala ea ho hloleha ho ka bang teng ho Wet Etching
Ke hobane'ng ha etching e omeletseng e loketse micromachining
Tlhaloso ea Related Art Dry etching e loketseng etching ea anisotropic e sebelisoa mekhoeng ea tlhahiso ea semiconductor e hlokang ts'ebetso e nepahetseng haholo. Etching e omileng hangata e bitsoa reactive ion etching (RIE), e ka kenyelletsang ho qoelisoa ha plasma le sputter etching ka kutloisiso e pharaletseng, empa sengoloa sena se tla tsepamisa maikutlo ho RIE.
Ho hlalosa hore na hobaneng etching ea anisotropic e le bonolo ka ho omella, ha re shebisiseng ts'ebetso ea RIE. Ho bonolo ho utloisisa ka ho arola mokhoa oa ho omisa le ho senya karoloana ka mefuta e 'meli: "chemical etching" le "physical etching".
Etching ea lik'hemik'hale e etsahala ka mehato e meraro. Ntlha ea pele, likhase tse sebetsang ka matla li adsorbed holim'a metsi. Ka mor'a moo, lihlahisoa tsa karabelo li thehoa ho tloha khase ea karabelo le thepa ea substrate, 'me qetellong lihlahisoa tsa karabelo lia senyeha. Ho etching e latelang ea 'mele, substrate e hlophisoa ho ea tlase ka ho sebelisa khase ea argon ho ea tlase ho substrate.
Etching ea lik'hemik'hale e etsahala sebakeng sa isotropical, athe 'mele etching e ka etsahala anisotropically ka ho laola tsela ea tšebeliso ea khase. Ka lebaka la etching ena ea 'mele, etching e omeletseng e lumella taolo e ngata holim'a tsela ea etching ho feta etching e metsi.
Ho omella le ho koloba ho boetse ho hloka maemo a thata a tšoanang le a ho koloba, empa e na le ho ikatisa ho hoholo ho feta ho kenya metsi 'me e na le lintho tse ngata tse bonolo ho li laola. Ka hona, ha ho pelaelo hore etching e omeletseng e thusa haholo tlhahiso ea indasteri.
Ke Hobane'ng ha Etching e Metsi e ntse e Hlokahala
Hang ha u utloisisa ho omella ho bonahalang ho le matla 'ohle, u ka' na ua ipotsa hore na ke hobane'ng ha metsi a ntse a le teng. Leha ho le joalo, lebaka le bonolo: etching e metsi e etsa hore sehlahisoa se be theko e tlaase.
Phapang e ka sehloohong pakeng tsa etching e omeletseng le etching e metsi ke litšenyehelo. Lik'hemik'hale tse sebelisoang ho li-wet etching ha li theko e boima hakaalo, 'me theko ea thepa ka boeona e boleloa e ka ba 1/10 ea thepa e omileng ea ho khabisa. Ho phaella moo, nako ea ts'ebetso e khutšoanyane 'me li-substrates tse ngata li ka sebetsoa ka nako e le' ngoe, ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso. Ka lebaka leo, re ka boloka litšenyehelo tsa sehlahisoa li le tlase, ho re fa monyetla ho feta bahlolisani ba rona. Haeba litlhoko tsa ho nepahala ha ts'ebetso li se holimo, lik'hamphani tse ngata li tla khetha etching e metsi bakeng sa tlhahiso e boima ea boima.
Ts'ebetso ea etching e ile ea hlahisoa e le ts'ebetso e bapalang karolo ho theknoloji ea microfabrication. Ts'ebetso ea etching e batla e arotsoe ka etching e metsi le etching e omileng. Haeba litšenyehelo li le bohlokoa, ea pele e molemo, 'me haeba microprocessing e ka tlase ho 1 μm e hlokahala, ea morao-rao e molemo. Ha e le hantle, mokhoa o ka khethoa ho latela sehlahisoa se lokelang ho hlahisoa le litšenyehelo, ho e-na le hore na ke efe e molemo.
Nako ea poso: Apr-16-2024