Ntlha ea pele, kenya silicon ea polycrystalline le li-dopants ka har'a crucible ea quartz ka sebōping se le seng sa kristale, phahamisa mocheso ho feta likhato tse 1000, 'me u fumane silicon ea polycrystalline sebakeng se qhibilihisitsoeng.
Silicon ingot kholo ke mokhoa oa ho etsa silicon ea polycrystalline hore e be silicon e le 'ngoe ea kristale. Kamora hore silicon ea polycrystalline e futhumatsoe hore e be metsi, tikoloho ea mocheso e laoloa ka nepo hore e hole ho ba likristale tse le 'ngoe tsa boleng bo holimo.
Likhopolo tse amanang:
Khōlo ea kristale e le 'ngoe:Kamora hore mocheso oa tharollo ea polycrystalline silicon e tsitsitse, kristale ea peo e theoleloa butle-butle ka har'a silicon melt (kristale ea peo e tla boela e qhibilihe ka har'a silicon e qhibiliha), ebe kristale ea peo e phahamisoa ka lebelo le itseng bakeng sa ho jala. tshebetso. Joale, li-dislocation tse hlahisoang nakong ea ho jala peo li felisoa ka ts'ebetso ea molala. Ha molala o fokotsehile ho fihlela bolelele bo lekaneng, bophara ba silicon e le 'ngoe ea kristale bo atolosoa ho ea bohlokoa ba sepheo ka ho fetola lebelo la ho hula le mocheso, ebe bophara bo lekanang bo bolokiloe ho hōla ho fihlela bolelele ba sepheo. Qetellong, e le ho thibela ho senyeha ho tloha morao ho khutlela morao, kristale e le 'ngoe ea kristale e felile ho fumana ingot ea kristale e felileng, ebe e ntšoa ka mor'a hore mocheso o pholile.
Mekhoa ea ho lokisa silicon e le 'ngoe ea kristale:Mokhoa oa CZ le mokhoa oa FZ. Mokhoa oa CZ o khutsufatsoa joalo ka mokhoa oa CZ. Tšobotsi ea mokhoa oa CZ ke hore o akaretsoa ka mokhoa o otlolohileng oa mocheso oa silinda, o sebelisa mocheso oa ho hanyetsa graphite ho qhibiliha silicon ea polycrystalline ka crucible ea quartz e hloekileng haholo, ebe e kenya kristale ea peō sebakeng se qhibilihisang bakeng sa ho cheselletsa, ha e ntse e tsoela pele. ho potoloha kristale ea peo, ebe o khutlisetsa crucible. Kristale ea peo e phahamisetsoa holimo butle-butle, 'me ka mor'a mekhoa ea ho jala, ho atolosa, ho potoloha ha mahetla, ho hōla ka bophara bo lekanang, le mohatla, ho fumanoa silicon e le' ngoe ea kristale.
Mokhoa oa ho qhibiliha oa libaka ke mokhoa oa ho sebelisa li-ingots tsa polycrystalline ho qhibiliha le ho khantša likristale tsa semiconductor libakeng tse fapaneng. Matla a futhumatsang a sebelisoa ho hlahisa sebaka se qhibilihang ka lehlakoreng le leng la molamu oa semiconductor, ebe kristale e le 'ngoe ea peō ea kristale e chesetsoa. Mocheso o lokisoa ho etsa hore sebaka sa ho qhibiliha se tsamaee butle-butle ho ea pheletsong e 'ngoe ea molamu,' me ka molamu oohle, kristale e le 'ngoe e hōlileng,' me mokhoa oa kristale o tšoana le oa kristale ea peo. Mokhoa oa ho qhibiliha oa libaka o arotsoe ka mefuta e 'meli: mokhoa oa ho qhibiliha oa libaka tse otlolohileng le mokhoa oa ho qhibiliha oa sebaka se otlolohileng. Ea pele e sebelisoa haholo bakeng sa tlhoekiso le kholo e le 'ngoe ea kristale ea thepa e kang germanium le GaAs. Ea morao-rao ke ho sebelisa coil ea maqhubu a phahameng sepakapakeng kapa sebōping sa vacuum ho hlahisa sebaka se qhibilihisitsoeng moo ho kopanang teng pakeng tsa kristale e le 'ngoe ea kristale le molamu oa polycrystalline silicon e fanyehiloeng ka holim'a eona, ebe o isa sebaka se qhibilihisitsoeng holimo ho holisa sebaka se le seng. kristale.
Hoo e ka bang 85% ea li-wafers tsa silicon li hlahisoa ke mokhoa oa Czochralski, 'me 15% ea liphaephe tsa silicon li hlahisoa ke mokhoa oa ho qhibiliha oa libaka. Ho ea ka kopo, silicon e le 'ngoe ea kristale e hōlileng ka mokhoa oa Czochralski e sebelisoa haholo-holo ho hlahisa likarolo tse kopanetsoeng tsa potoloho, ha silicon e le' ngoe e hōlileng ka mokhoa oa ho qhibiliha ha libaka e sebelisoa haholo-holo bakeng sa li-semiconductors tsa matla. Mokhoa oa Czochralski o na le ts'ebetso e butsoitseng mme ho bonolo ho holisa silicon e le 'ngoe ea kristale e bophara bo boholo; mokhoa oa ho qhibiliha oa libaka ha o kopane le setshelo, ha ho bonolo ho silafatsoa, o na le bohloeki bo phahameng, 'me o loketse tlhahiso ea lisebelisoa tsa elektroniki tse matla, empa ho thata le ho feta ho holisa silicon e le 'ngoe ea kristale e bophara bo boholo, 'me ka kakaretso e sebelisoa feela bakeng sa lisenthimithara tse 8 kapa ka tlase ho bophara. Video e bontša mokhoa oa Czochralski.
Ka lebaka la bothata ba ho laola bophara ba molamu o le mong oa kristale oa silicon nakong ea ho hula kristale e le 'ngoe, e le hore u fumane lithupa tsa silicon tsa li-diameter tse tloaelehileng, tse kang lisenthimithara tse 6, lisenthimithara tse 8, lisenthimithara tse 12, joalo-joalo. kristale, bophara ba ingot ea silicon bo tla phuthoa le ho siloa. Bokaholimo ba molamu oa silicon kamora ho bilika bo boreleli mme phoso ea boholo e nyane.
U sebelisa theknoloji e tsoetseng pele ea ho seha ka terata, enjine e le 'ngoe ea kristale e khaotsoe ka liphaephe tsa silicon tsa botenya bo loketseng ka lisebelisoa tsa ho seha.
Ka lebaka la botenya bo bonyenyane ba sephaphatha sa silicon, moeli oa sephaphatha sa silicon ka mor'a ho seha o bohale haholo. Sepheo sa ho sila ka bohale ke ho theha moeli o boreleli 'me ha ho bonolo ho senya nakong e tlang ea tlhahiso ea li-chip.
LAPING ke ho kenya sephaphatha lipakeng tsa poleiti e boima ea khetho le poleiti e tlase ea kristale, 'me u sebelise khatello le ho potoloha ka abrasive ho etsa hore sephaphatha se batalle.
Etching ke ts'ebetso ea ho tlosa tšenyo e kaholimo ea sephaphatha, 'me bokaholimo bo sentsoeng ke ts'ebetso ea' mele bo qhibiliha ka tharollo ea lik'hemik'hale.
Ho sila ka mahlakoreng a mabeli ke mokhoa oa ho etsa hore sephaphatha se be se bataletseng le ho tlosa li-protrusions tse nyenyane holim'a metsi.
RTP ke mokhoa oa ho futhumatsa sephaphatha ka potlako ka metsotsoana e seng mekae, e le hore mefokolo ea ka hare ea sekoahelo e tšoane, litšila tsa tšepe li hatelloe, 'me ts'ebetso e sa tloaelehang ea semiconductor e thibeloe.
Ho penya ke mokhoa o netefatsang hore bokaholimo bo boreleli ka ho sebetsa ka nepo ka holim'a machining. Tšebeliso ea lesela la ho bentša lesela le benyang, le kopantsoeng le mocheso o nepahetseng, khatello le lebelo la ho potoloha, li ka felisa lera la tšenyo ea mochini le siiloeng ke ts'ebetso e fetileng le ho fumana liphaphatha tsa silicon tse nang le bokhabane bo holimo.
Sepheo sa ho hloekisa ke ho tlosa lintho tse phelang, likaroloana, litšepe, joalo-joalo tse setseng holim'a lesela la silicon ka mor'a ho belisoa, e le ho netefatsa bohloeki ba holim'a silicon oafer le ho finyella litlhoko tsa boleng ba ts'ebetso e latelang.
The flatness & resistivity tester e lemoha sephaphatha sa silicon ka mor'a ho bentša le ho hloekisa ho netefatsa hore botenya, ho bata, ho bata ha sebakeng seo, ho kobeha, warpage, resistivity, joalo-joalo ea sephaphatha sa silicon se bentšitsoeng se finyella litlhoko tsa bareki.
PARTICLE COUNTING ke mokhoa oa ho hlahloba ka nepo bokaholimo ba sephaphatha, 'me bofokoli ba bokaholimo le bongata bo khethoa ke ho hasanya ka laser.
EPI GROWING ke ts'ebetso ea ho holisa lifilimi tsa boleng bo holimo tsa silicon e le 'ngoe ea kristale holim'a liphaephe tse bentšitsoeng tsa silicon ka ho beoa ha lik'hemik'hale tsa mouoane.
Likhopolo tse amanang:Khōlo ea Epitaxial: e bolela ho hōla ha lesela le le leng la kristale le nang le litlhoko tse itseng le mokhoa o tšoanang oa kristale joaloka substrate holim'a substrate e le 'ngoe ea kristale (substrate), feela joaloka kristale ea pele e fetela ka ntle bakeng sa karolo. Theknoloji ea kholo ea Epitaxial e ile ea ntlafatsoa ho elella bofelong ba lilemo tsa bo-1950 le mathoasong a bo-1960. Ka nako eo, e le ho etsa lisebelisoa tse phahameng tsa maqhubu le matla a phahameng, ho ne ho hlokahala ho fokotsa letoto la mokelli ho hanyetsa, 'me thepa e ne e hlokahala ho mamella matla a phahameng le a phahameng a hona joale, kahoo ho ne ho hlokahala hore ho hōle e tšesaane e phahameng- ho hanyetsa lera la epitaxial holim'a substrate e tlaase e hanyetsanang. Lera le lecha le lecha la kristale le holileng ka mokhoa o makatsang le ka fapana le substrate ho latela mofuta oa conductivity, resistivity, joalo-joalo, 'me likristale tse nang le mefuta e mengata ea botenya le litlhoko tse fapaneng le tsona li ka holisoa, ka hona, ho ntlafatsa haholo ho feto-fetoha ha moralo oa sesebelisoa le tshebetso ya sesebediswa.
Packaging ke sephuthelo sa lihlahisoa tsa ho qetela tse tšoanelehang.
Nako ea poso: Nov-05-2024