Mokhoa oa ho itokisa oa likarolo tse tloaelehileng tsa graphite tse koahetsoeng ke TaC

KAROLO/1
Mokhoa oa CVD (Chemical Vapor Deposition) mokhoa:
Ho 900-2300 ℃, ho sebelisoa TaCl₅le CnHm e le mehloli ea tantalum le carbon, H₂ e le ho fokotsa sepakapaka, Ar₂as carrier gas, reaction deposition film. Seaparo se lokiselitsoeng se kopane, se ts'oanang le bohloeki bo phahameng. Leha ho le joalo, ho na le mathata a kang ts'ebetso e rarahaneng, litšenyehelo tse theko e boima, taolo e thata ea moea le ts'ebetso e tlase ea deposition.
KAROLO/2
Mokhoa oa ho sila ka slurry:
The slurry e nang le carbon source, tantalum source, dispersant le binder e koahetsoe holim'a graphite 'me e sintered ka mocheso o phahameng ka mor'a ho omisa. Seaparo se lokiselitsoeng se ntse se hōla ntle le mokhoa o tloaelehileng, se na le litšenyehelo tse tlaase 'me se loketse tlhahiso e kholo. E sa ntse e lokela ho hlahlojoa ho finyella seaparo se ts'oanang le se feletseng holim'a graphite e kholo, ho felisa bofokoli ba ts'ehetso le ho matlafatsa matla a ho kopanya.
KAROLO/3
Mokhoa oa ho fafatsa ka plasma:
TaC phofo e qhibilihisoa ke plasma arc ka mocheso o phahameng, e kenngoa ka athomo marotholing a mocheso o phahameng ka jete e lebelo le phahameng, ebe e fafatsoa holim'a thepa ea graphite. Ho bonolo ho theha oxide layer ka tlas'a vacuum, 'me tšebeliso ea matla e kholo.

 

Setšoantšo. Wafer tray ka mor'a ho sebelisoa ho GaN epitaxial hōlileng MOCVD sesebelisoa (Veeco P75). E ka ho le letšehali e koahetsoe ka TaC 'me e ka ho le letona e koahetsoe ka SiC.

TaC e koahetsoelikarolo tsa graphite li hloka ho rarolloa

KAROLO/1
Matla a tlamang:
Coefficient ea ho atolosa mocheso le lintho tse ling tsa 'mele pakeng tsa TaC le lisebelisoa tsa carbon li fapane, matla a ho kopanya a tlaase a tlaase, ho thata ho qoba mapetsong, li-pores le khatello ea mocheso,' me ho roala ho bonolo ho phunya moeeng oa sebele o nang le bola le ho bola. kgafetsa ya ho phahama le ho phodisa.
KAROLO/2
Bohloeki:
Ho roala ha TaCe hloka ho ba le bohloeki bo phahameng haholo ho qoba litšila le tšilafalo tlas'a maemo a phahameng a mocheso, 'me litekanyetso tse sebetsang tsa dikahare le litekanyetso tsa sebopeho sa carbon e sa lefelloeng le litšila tse ka hare ho naha le ka hare ho seaparo se feletseng li hloka ho lumellanoa.
KAROLO/3
Botsitso:
Ho hanyetsa mocheso o phahameng le k'hemik'hale ea sepakapaka ea lik'hemik'hale ka holimo ho 2300 ℃ ke matšoao a bohlokoa ka ho fetisisa a ho hlahloba botsitso ba ho roala. Lithako, mapetsong, likhutlong tse sieo, le meeli ea lijo-thollo tse shebaneng le 'ngoe ho bonolo ho etsa hore likhase tse senyang li kenelle le ho phunyeletsa ka har'a graphite, e leng se bakang ho hlōleha ha tšireletso ea ho koahela.
KAROLO/4
Ho hanyetsa oxidation:
TaC e qala ho oxidize ho Ta2O5 ha e le ka holimo ho 500 ℃, 'me sekhahla sa oxidation se eketseha haholo ka keketseho ea mocheso le moea oa oksijene. Oxidation ea holim'a metsi e qala ho tloha meeling ea lijo-thollo le lijo-thollo tse nyenyane, 'me butle-butle e etsa likristale tsa columnar le likristale tse robehileng, tse hlahisang likheo tse ngata le masoba,' me ho kenella ha oksijene ho matlafala ho fihlela seaparo se hlobolisoa. Sephetho sa oxide layer se na le conductivity e fokolang ea mocheso le mebala e fapaneng ka ponahalo.
KAROLO/5
Ho tšoana le ho ba mahoashe:
Kabo e sa lekaneng ea sebaka sa ho roala e ka lebisa tlhokomelong ea khatello ea mocheso ea sebakeng seo, ho eketsa kotsi ea ho phatloha le ho phatloha. Holim'a moo, bokaholimo bo ama ka kotloloho tšebelisano lipakeng tsa ho roala le tikoloho ea kantle, 'me ho ba mahoashe haholo ho lebisa habonolo khohlanong e ntseng e eketseha le sephaphatha le tšimo e sa lekanang ea mocheso.
KAROLO/6
Boholo ba lijo-thollo:
Boima ba lijo-thollo bo tšoanang bo thusa botsitso ba ho roala. Haeba boholo ba lijo-thollo bo le bonyenyane, tlamahano ha e thata, 'me e bonolo ho e-na le oxidized le ho senyeha, ho fella ka palo e kholo ea mapetsong le masoba moeling oa lijo-thollo, e leng ho fokotsa ts'ebetso e sireletsang ea ho roala. Haeba boholo ba lijo-thollo bo le boholo haholo, bo batla bo le thata, 'me ho roala ho bonolo ho theoha tlas'a khatello ea mocheso.