Bohloeki babokaholimo ba sekontirie tla ama haholo sekhahla sa ho tšoaneleha sa lits'ebetso le lihlahisoa tse latelang tsa semiconductor. Ho fihla ho 50% ea tahlehelo eohle ea lihlahisoa e bakoa kebokaholimo ba sekontiritshilafatso.
Lintho tse ka bakang liphetoho tse sa laoleheng ts'ebetsong ea motlakase oa sesebelisoa kapa mokhoa oa ho etsa lisebelisoa li bitsoa ka kopanelo e le litšila. Lintho tse silafatsang li ka 'na tsa tsoa ho sephaphatha ka boeona, phaposi e hloekileng, lisebelisoa tsa ho sebetsa, lik'hemik'hale tsa ho sebetsa kapa metsi.Sephaphathatšilafalo ka kakaretso e ka bonoa ka pono ea pono, tlhahlobo ea ts'ebetso, kapa ts'ebeliso ea lisebelisoa tse rarahaneng tsa tlhahlobo tekong ea ho qetela ea sesebelisoa.
▲ Litšila holim'a liphaphatha tsa silicon | Netweke ea mohloli oa setšoantšo
Liphetho tsa tlhahlobo ea tšilafalo li ka sebelisoa ho bonts'a tekanyo le mofuta oa tšilafalo e kopaneng lesephaphathamohatong o itseng wa tshebetso, mochini o itseng kapa mokgoa o akaretsang. Ho ea ka lihlopha tsa mekhoa ea ho lemoha,bokaholimo ba sekontiritšilafalo e ka aroloa ka mefuta e latelang.
Tšilafalo ea tšepe
Tšilafalo e bakoang ke litšepe e ka baka bofokoli ba sesebelisoa sa semiconductor ka likhato tse fapaneng.
Lisebelisoa tsa alkali kapa litšepe tsa lefats'e tsa alkaline (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, joalo-joalo) li ka baka ho lutla ha hona joale ka har'a sebopeho sa pn, e leng se lebisang ho matla a ho senyeha ha oxide; phetoho ea tšepe le tšepe e boima (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, joalo-joalo) tšilafalo e ka fokotsa potoloho ea bophelo ea mojari, ea fokotsa bophelo ba tšebeletso ea karolo kapa ea eketsa lefifi la hona joale ha karolo e sebetsa.
Mekhoa e tloaelehileng ea ho bona tšilafalo ea tšepe ke khanya ea X-ray fluorescence, spectroscopy ea atomic absorption spectroscopy le plasma mass spectrometry (ICP-MS) e kopantsoeng ka mokhoa o hlakileng.
▲ Tšilafalo ea bokaholimo | ResearchGate
Tšilafalo ea tšepe e ka tsoa ho li-reagents tse sebelisoang ho hloekisa, etching, lithography, deposition, joalo-joalo, kapa mechini e sebelisoang ts'ebetsong, joalo ka lionto, li-reactors, implantation ea ion, joalo-joalo, kapa e ka bakoa ke ho ts'oaroa ka bohlasoa.
Tšilafalo ea likaroloana
Li-depositi tsa 'nete hangata li bonoa ka ho bona khanya e hasaneng ho tsoa ho mefokolo ea bokaholimo. Ka hona, lebitso le nepahetseng haholoanyane la saense bakeng sa tšilafalo ea likaroloana ke bothata ba ntlha ea leseli. Tšilafalo ea likaroloana e ka baka ho thibela kapa ho pata litlamorao ho etching le lithography process.
Nakong ea kholo ea filimi kapa deposition, li-pinholes le li-microvoids li hlahisoa, 'me haeba likaroloana li le khōlō ebile li tsamaisa, li ka baka le lipotoloho tse khutšoanyane.
▲ Ho thehoa ha litšila tsa likaroloana | Netweke ea mohloli oa setšoantšo
Tšilafalo ea likaroloana tse nyane e ka baka meriti holim'a metsi, joalo ka nakong ea photolithography. Haeba likaroloana tse kholo li le pakeng tsa photomask le lera la photoresist, li ka fokotsa qeto ea ho pepeseha ha puisano.
Ho feta moo, ba ka thibela li-ion tse potlakileng nakong ea ho kenngoa ha ion kapa ho omella. Likarolo li ka boela tsa koalloa ke filimi, e le hore ho be le maqhubu le maqhubu. Likarolo tse latelang tse behiloeng li ka 'na tsa peperana kapa tsa hana ho bokellana libakeng tsena, tsa baka mathata nakong ea ho pepeseha.
Tšilafalo ea lintho tse phelang
Litšila tse nang le k'habone, hammoho le likarolo tsa tlamahano tse amanang le C, li bitsoa tšilafalo ea lintho tse phelang. Lintho tse silafatsang tsa tlhaho li ka baka thepa e sa lebelloang ea hydrophobic hobokaholimo ba sekontiri, ho eketsa bohloeki ba holim'a metsi, ho hlahisa sebaka se lerootho, ho senya kholo ea epitaxial layer, le ho ama phello ea ho hloekisa ea tšilafalo ea tšepe haeba litšila li sa tlosoe pele.
Tšilafalo e joalo ea bokaholimo hangata e bonoa ke lisebelisoa tse kang thermal desorption MS, X-ray photoelectron spectroscopy, le Auger electron spectroscopy.
▲ marang-rang a mohloli oa litšoantšo
Tšilafalo ea khase le tšilafalo ea metsi
Limolek'hule tsa atmospheric le tšilafalo ea metsi ka boholo ba limolek'hule hangata ha li tlosoe ke moea o tloaelehileng o sebetsang hantle haholo (HEPA) kapa li-filters tsa moea tse kenang ka tlase ho tlase (ULPA). Tšilafalo e joalo hangata e hlahlojoa ke ion mass spectrometry le capillary electrophoresis.
Litšilafalo tse ling li ka ba tsa lihlopha tse ngata, mohlala, likaroloana li ka 'na tsa etsoa ka thepa ea tlhaho kapa ea tšepe, kapa ka bobeli, kahoo mofuta ona oa tšilafalo o ka boela oa hlalosoa e le mefuta e meng.
▲ Litšila tsa limolek'hule tsa khase | IONICON
Ntle le moo, tšilafalo ea li-wafer e ka boela ea hlalosoa e le tšilafalo ea limolek'hule, tšilafalo ea likaroloana, le tšilafalo ea litšila tse nkiloeng ho latela boholo ba mohloli oa tšilafalo. Ha boholo ba karolo ea tšilafalo e le nyane, ho thata le ho feta ho e tlosa. Tlhahisong ea kajeno ea likarolo tsa elektronike, mekhoa ea ho hloekisa li-wafer e nka 30% - 40% ea ts'ebetso eohle ea tlhahiso.
▲ Litšila holim'a liphaphatha tsa silicon | Netweke ea mohloli oa setšoantšo
Nako ea poso: Nov-18-2024