Mokhoa oa ho etsa mehato ea ho sebetsa bakeng sa li-substrates tsa SiC ke tse latelang:
1. Crystal Orientation:
Ho sebelisa X-ray diffraction ho shebana le ingot ea kristale. Ha sefate sa X-ray se lebisitsoe sefahlehong se lakatsehang sa kristale, lehlakoreng la leballo le fapaneng le etsa qeto ea hore na kristale e hokae.
2. Ho Sila ka Ntle Diameter:
Likristale tse le 'ngoe tse hōlileng ka li-crucibles tsa graphite hangata li feta li-diameter tse tloaelehileng. Ho sila bophara ba ka ntle ho li fokotsa ho ea boholo bo tloaelehileng.
3. Qetella ho Sila Sefahleho:
Li-substrates tsa 4-inch 4H-SiC hangata li na le mahlakore a mabeli a boemo, a mathomo le a bobeli. Ho sila sefahleho ho bula likarolo tsena tse emeng.
4. Ho Sakha Mohala:
Ho sakha ka terata ke mohato oa bohlokoa oa ho sebetsana le likaroloana tsa 4H-SiC. Mapetso le tšenyo e ka tlas'a lefatše e bakiloeng nakong ea terata e senya mekhoa e latelang, ho eketsa nako ea ts'ebetso le ho baka tahlehelo ea thepa. Mokhoa o atileng haholo ke ho sakha lithapo tse ngata tse nang le abrasive ea daemane. Motsamao o iphetang oa lithapo tsa tšepe tse kopantsoeng le li-abrasives tsa daemane li sebelisetsoa ho khaola ingot ea 4H-SiC.
5. Chamfering:
Ho thibela ho phunya le ho fokotsa tahlehelo e ka jeoang nakong ea lits'ebetso tse latelang, likarolo tse hlabang tsa litsupa tse sakhaoeng ka terata li hoheloa ka libopeho tse boletsoeng.
6. Ho tšesaane:
Ho sakha ka terata ho siea mengoallo e mengata le tšenyo e ka tlas'a lefatše. Ho tšesa ho etsoa ka ho sebelisa mabili a daemane ho tlosa likoli tsena ka hohle kamoo ho ka khonehang.
7. Ho sila:
Ts'ebetso ena e kenyelletsa ho sila ka mahlahahlaha le ho sila hantle ho sebelisa boron carbide ea boholo bo bonyenyane kapa li-abrasives tsa daemane ho tlosa tšenyo e setseng le tšenyo e ncha e hlahisoang nakong ea ho fokotsa.
8. Ho benya:
Mehato ea ho qetela e kenyelletsa ho bentša ho thata le ho bentša hantle ho sebelisa li-abrasives tsa alumina kapa silicon oxide. Mokelikeli o benyang o nolofatsa bokaholimo, ebe o tlosoa ka mochine ka li-abrasives. Mohato ona o tiisa sebaka se boreleli le se sa senyeheng.
9. Ho hloekisa:
Ho tlosa likaroloana, litšepe, lifilimi tsa oxide, masala a organic le litšila tse ling tse siiloeng mehatong ea ho sebetsa.
Nako ea poso: May-15-2024