Har'a mekhoa eohle e amehang ho theheng chip, qetello ea ho qetela easephaphathae lokela ho khaoloa ka har'a li-dis tsa motho ka mong ebe li kenngoa ka har'a mabokose a manyenyane, a kentsoeng ka lithakhisa tse seng kae feela. Chip e tla hlahlojoa ho ipapisitsoe le litekanyo tsa eona, ho hanyetsa, hona joale le boleng ba motlakase, empa ha ho motho ea tla nahana ka ponahalo ea eona. Nakong ea ts'ebetso ea tlhahiso, re penta khafetsa sephaphatha ho fihlela planarization e hlokahalang, haholo-holo mohatong o mong le o mong oa photolithography. Thesephaphathabokaholimo bo tlameha ho ba bo bataletseng haholo hobane, ha ts'ebetso ea tlhahiso ea chip e honyela, lense ea mochini oa photolithography e hloka ho fihlela qeto ea sekala sa nanometer ka ho eketsa lesoba la lipalo (NA) la lense. Leha ho le joalo, sena ka nako e le 'ngoe se fokotsa botebo ba ho tsepamisa maikutlo (DoF). Botebo ba ho tsepamisa maikutlo bo bolela botebo boo tsamaiso ea optical e ka bolokang maikutlo. Ho etsa bonnete ba hore setšoantšo sa photolithography se lula se hlakile ebile se tsepamisitse maikutlo, mefuta e fapaneng ea bokaholimo basephaphathae tlameha ho wela ka hare ho botebo ba tsepamiso.
Ka mantsoe a bonolo, mochini oa photolithography o tela bokhoni ba ho ntlafatsa ho nepahala ha litšoantšo. Mohlala, mochini o mocha oa EUV Photolithography o na le sebaka sa lipalo sa 0.55, empa botebo bo otlolohileng ba ho tsepamisa maikutlo ke li-nanometer tse 45 feela, tse nang le sebaka se senyenyane sa ho nka litšoantšo nakong ea foto. Haeba esephaphathaha e bataletse, e na le botenya bo sa tšoaneng, kapa ho kheloha holimo, ho tla baka mathata nakong ea photolithography libakeng tse phahameng le tse tlaase.
Photolithography ha se eona feela mokhoa o hlokang borelelisephaphathabokahodimo. Mekhoa e meng e mengata ea ho etsa li-chip le eona e hloka ho belisoa ha li-wafer. Ka mohlala, ka mor'a ho koloba, ho belisoa hoa hlokahala ho theola bokaholimo bakeng sa ho roala le ho beha. Kamora ho itšehla thajana ho sa tebang (STI), ho belisoa hoa hlokahala ho theola silicon dioxide e feteletseng le ho tlatsa ho tlatsa foro. Ka mor'a ho beha tšepe, ho belisoa hoa hlokahala ho tlosa likarolo tse ngata tsa tšepe le ho thibela lisebelisoa tse khutšoanyane tsa lipotoloho.
Ka hona, ho tsoaloa ha chip ho kenyelletsa mehato e mengata ea ho bentša ho fokotsa ho ba mahoashe le ho fapana ha bokaholimo le ho tlosa lintho tse ngata ho tloha holimo. Ho feta moo, bofokoli bo bakiloeng ke mathata a fapaneng a ts'ebetso holim'a sephaphatha hangata bo bonahala feela kamora mohato o mong le o mong oa ho bentša. Kahoo, lienjiniere tse ikarabellang bakeng sa ho bentša li na le boikarabelo bo boholo. Ke batho ba ka sehloohong ts'ebetsong ea tlhahiso ea li-chip 'me hangata ba jara molato libokeng tsa tlhahiso. Ba tlameha ho ba le tsebo ea ho kenya metsi le tlhahiso ea 'mele, joalo ka mekhoa ea mantlha ea ho bentša ha ho etsoa li-chip.
Mekhoa ea ho bentša liphaephe ke efe?
Mekhoa ea ho bentša e ka aroloa ka mekhahlelo e meraro e meholo ho latela melao-motheo ea tšebelisano lipakeng tsa mokelikeli o benyang le bokaholimo ba silicon:
1. Mokhoa oa ho bentša ka Mechini:
Ho hloekisoa ha mechine ho tlosa litšepe tse bentšitsoeng tsa bokaholimo ka ho itšeha le ho senyeha ha polasetiki ho fihlela sebaka se boreleli. Lisebelisoa tse tloaelehileng li kenyelletsa majoe a oli, mabili a boea, le sandpaper, e sebelisoang haholo ka letsoho. Likarolo tse khethehileng, joalo ka bokaholimo ba 'mele e potolohang, li ka sebelisa li-turntable le lisebelisoa tse ling tse thusang. Bakeng sa libaka tse nang le litlhoko tsa boleng bo holimo, ho ka sebelisoa mekhoa e metle haholo ea ho bentša. Polishe e ntle haholo e sebelisa lisebelisoa tse entsoeng ka mokhoa o khethehileng, tseo, ka har'a mokelikeli o benyang o nang le abrasive, li hatelloa ka thata holim'a sebaka sa mosebetsi 'me li potoloha ka lebelo le phahameng. Mokhoa ona o ka fihlela bokhabane ba Ra0.008μm, e phahameng ka ho fetisisa har'a mekhoa eohle ea ho bentša. Mokhoa ona o atisa ho sebelisoa bakeng sa hlobo ea lense ea optical.
2. Mokhoa oa ho bentša ka lik'hemik'hale:
Ho belisoa ha lik'hemik'hale ho kenyelletsa ho qhibiliha ka mokhoa o khethehileng oa li-micro-protrusions holim'a thepa ea lik'hemik'hale, e leng se etsang hore ho be le sebaka se boreleli. Melemo e ka sehloohong ea mokhoa ona ke ho haella ha tlhokahalo ea lisebelisoa tse rarahaneng, bokhoni ba ho bentša lisebelisoa tse nang le sebōpeho se rarahaneng, le bokhoni ba ho bentša lisebelisoa tse ngata ka nako e le 'ngoe ka katleho e phahameng. Taba ea mantlha ea ho belisoa ha lik'hemik'hale ke ho etsoa ha mokelikeli o pholisang. Bokhopo ba bokaholimo bo fihlelletsoeng ka ho bentša lik'hemik'hale hangata ke li-micrometer tse mashome.
3. Mokhoa oa ho hloekisoa ha lik'hemik'hale (CMP):
E 'ngoe le e' ngoe ea mekhoa e 'meli ea pele ea ho bentša e na le melemo ea eona e ikhethang. Ho kopanya mekhoa ena e 'meli ho ka finyella liphello tse tlatsetsang ts'ebetsong. Ho belisoa ha mochini oa lik'hemik'hale ho kopanya likhohlano tsa mochini le lits'ebetso tsa kutu ea lik'hemik'hale. Nakong ea CMP, li-reagents tsa lik'hemik'hale tse ka har'a mokelikeli o benyang li oxidize thepa ea substrate e betliloeng, e etsa lera le bonolo la oxide. Lera lena la oxide le tlosoa ka likhohlano tsa mochini. Ho pheta-pheta ts'ebetso ena ea oxidation le ho tlosoa ha mechine ho finyella ho belisoa ka katleho.
Mathata a Hona Joale le Mathata a ho Pholisa ka Lik'hemik'hale (CMP):
CMP e tobane le liqholotso le litaba tse 'maloa likarolong tsa theknoloji, moruo le ts'ireletso ea tikoloho:
1) Ts'ebetso e tsitsitseng: Ho finyella maemo a phahameng a ts'ebetso ea CMP ho ntse ho le thata. Esita le ka har'a mohala o le mong oa tlhahiso, liphapang tse nyenyane tsa mekhahlelo ea ts'ebetso pakeng tsa lihlopha tse fapaneng kapa lisebelisoa li ka ama ho lumellana ha sehlahisoa sa ho qetela.
2) Ho ikamahanya le maemo ho Lisebelisoa tse Ncha: Ha lisebelisoa tse ncha li ntse li tsoela pele ho hlaha, theknoloji ea CMP e tlameha ho ikamahanya le litšobotsi tsa bona. Lisebelisoa tse ling tse tsoetseng pele li kanna tsa se tsamaellane le lits'ebetso tsa setso tsa CMP, tse hlokang nts'etsopele ea maro a benyang a feto-fetohang le li-abrasives.
3) Liphello tsa Boholo: Ha litekanyo tsa lisebelisoa tsa semiconductor li ntse li fokotseha, litaba tse bakoang ke litlamorao tsa boholo li ba bohlokoa le ho feta. Litekanyo tse nyane li hloka ho bata ha holimo, ho hloka mekhoa e nepahetseng haholoanyane ea CMP.
4) Taolo ea Lebelo la ho Tlosa Lintho: Lits'ebetsong tse ling, taolo e nepahetseng ea sekhahla sa ho tlosoa ha thepa bakeng sa lisebelisoa tse fapaneng ke ea bohlokoa. Ho netefatsa litefiso tse tsitsitseng tsa ho tlosoa ho pholletsa le mekhahlelo e fapaneng nakong ea CMP ho bohlokoa bakeng sa ho etsa lisebelisoa tse sebetsang hantle.
5) Botsoalle ba Tikoloho: Mekelikeli e benyang le li-abrasives tse sebelisoang ho CMP li ka ba le likarolo tse kotsi tikolohong. Patlisiso le nts'etsopele ea lits'ebetso le lisebelisoa tsa CMP tse baballang tikoloho le tse tšoarellang ke liphephetso tsa bohlokoa.
6) Bohlale le Boiketsetso: Le ha boemo ba bohlale le boits'oaro ba litsamaiso tsa CMP bo ntse bo ntlafala butle-butle, ba ntse ba tlameha ho sebetsana le maemo a rarahaneng le a fapaneng a tlhahiso. Ho fihlella maemo a phahameng a ho iketsetsa le ho beha leihlo ka bohlale ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso ke phephetso e lokelang ho rarolloa.
7) Taolo ea Litšenyehelo: CMP e kenyelletsa lisebelisoa tse phahameng le litšenyehelo tsa thepa. Baetsi ba lokela ho ntlafatsa ts'ebetso ea ts'ebetso ha ba ntse ba leka ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso ho boloka tlholisano ea mebaraka.
Nako ea poso: Jun-05-2024