KAROLO/1 CVD (Chemical Vapor Deposition) mokhoa: Ho 900-2300℃, ho sebelisoa TaCl5 le CnHm e le mehloli ea tantalum le carbon, H₂ e le sepakapaka se fokotsang, Ar₂e le khase e tsamaisang thepa, filimi ea ho kenya karabelo. Seaparo se lokiselitsoeng se kopane, se ts'oanang le bohloeki bo phahameng. Leha ho le joalo, ho na le ba bang ba pro...
Bala haholoanyane