Silicon carbide (SiC)thepa e na le melemo ea bandgap e pharaletseng, conductivity e phahameng ea mocheso, matla a phahameng a ho senyeha ha tšimo, le lebelo le phahameng la ho hoholeha ha elektronike, e leng se etsang hore e be e tšepisang haholo lefapheng la tlhahiso ea semiconductor. Likristale tse le 'ngoe tsa SiC hangata li hlahisoa ka mokhoa oa ho tsamaisa mouoane oa' mele (PVT). Mehato e tobileng ea mokhoa ona e kenyelletsa ho beha phofo ea SiC ka tlaase ho graphite crucible le ho beha kristale ea peo ea SiC ka holimo ho crucible. graphitecruciblee futhumala ho mocheso oa sublimation oa SiC, e leng se etsang hore phofo ea SiC e bole hore e be lintho tsa mouoane tse kang Si vapor, Si2C, le SiC2. Tlas'a tšusumetso ea mocheso oa mocheso oa axial, lintho tsena tse nang le mouoane li theohela ka holim'a crucible le ho kopana holim'a kristale ea peo ea SiC, e phatsimang ka har'a likristale tse le 'ngoe tsa SiC.
Hona joale, bophara ba kristale ea peo e sebelisoa hoKholo ea kristale e le 'ngoe ea SiCe hloka ho tsamaisana le bophara ba kristale e shebiloeng. Nakong ea khōlo, kristale ea peo e tsitsitsoe holim'a sets'oants'o sa peo ka holimo ho crucible ho sebelisa sekhomaretsi. Leha ho le joalo, mokhoa ona oa ho lokisa kristale ea peo e ka lebisa litabeng tse kang li-voids ka har'a sekhomaretsi sa sekhomaretsi ka lebaka la lintlha tse kang ho nepahala ha bokaholimo ba peō le ho lumellana ha sekhomaretsi sa sekhomaretsi, se ka bakang mefokolo ea hexagonal. Tsena li kenyelletsa ho ntlafatsa ho bata ha poleiti ea graphite, ho eketsa ho tšoana ha lera la sekhomaretsi, le ho eketsa lera le tenyetsehang la buffer. Ho sa tsotellehe boiteko bona, ho ntse ho e-na le litaba tse amanang le sekhahla sa sekhomaretsi, 'me ho na le kotsi ea ho arohana ha kristale ea peo. Ka ho amohela mokhoa oa ho kopanyasephaphathaho pampiri ea graphite le ho e koahela ka holim'a crucible, ho teteana ha lesela la sekhomaretsi ho ka ntlafatsoa, 'me ho koaloa ha sephaphatha ho ka thibeloa.
1. Leano la Teko:
Li-wafers tse sebelisitsoeng tekong li fumaneha khoebongLi-wafers tsa SiC tsa mofuta oa 6-inch. Photoresist e sebelisoa ho sebelisoa spin coater. Ho khomarela ho finyelloa ka ho sebelisa sebōpi se ikemetseng sa peo ea hot-press.
1.1 Sekema sa Crystal Fixation Scheme:
Hona joale, merero ea ho khomarela kristale ea peo ea SiC e ka aroloa ka mekhahlelo e 'meli: mofuta oa sekhomaretsi le mofuta oa ho emisa.
Sekema sa Mofuta oa Sekhomaretsi (setšoantšo sa 1): Sena se kenyelletsa ho tlamahanngoa haSephaphatha sa SiCho poleiti ea graphite e nang le lera la pampiri ea graphite e le lera la buffer ho felisa likheo pakeng tsaSephaphatha sa SiCle poleiti ea graphite. Ha ho etsoa tlhahiso ea sebele, matla a ho kopanya pakeng tsa pampiri ea graphite le poleiti ea graphite e fokola, e lebisang ho qhoqhoa ha kristale ea peō khafetsa nakong ea ts'ebetso ea ho hōla ha mocheso o phahameng, e leng se fellang ka ho hlōleha ho hōla.
Sekema sa Mofuta oa ho Suspension (Setšoantšo sa 2): Ka tloaelo, filimi e teteaneng ea carbon e bōptjoa holim'a seqha sa SiC se sebelisa sekhomaretsi sa carbonization kapa mekhoa ea ho roala. TheSephaphatha sa SiCebe e tlamelloa pakeng tsa lipoleiti tse peli tsa graphite ebe e behoa ka holim'a graphite crucible, ho netefatsa botsitso ha filimi ea carbon e sireletsa sephaphatha. Leha ho le joalo, ho theha filimi ea carbon ka ho roala ho theko e boima ebile ha e tšoanelehe bakeng sa tlhahiso ea indasteri. Mokhoa oa carbonization oa glue o fana ka boleng bo sa tsitsang ba filimi ea carbon, e leng ho etsang hore ho be thata ho fumana filimi e teteaneng ea carbon e nang le ho khomarela ka matla. Ho phaella moo, ho koala lipoleiti tsa graphite ho fokotsa sebaka se sebetsang sa khōlo ea sephaphatha ka ho thibela karolo ea bokaholimo ba eona.
Ho ipapisitsoe le merero e 'meli e boletsoeng ka holimo, ho hlahisoa moralo o mocha oa sekhomaretsi le o kopanyang (setšoantšo sa 3):
Filimi ea khabone e batlang e teteane e etsoa holim'a sephaphatha sa SiC ho sebelisoa mokhoa oa glue carbonization, ho netefatsa hore ha ho na khanya e kholo ea khanya tlas'a khanya.
Sephaphatha sa SiC se koahetsoeng ka filimi ea carbon se tlamahane le pampiri ea graphite, 'me bokaholimo ba tlamahano e le lehlakore la filimi ea carbon. Lera la sekhomaretsi le lokela ho hlaha ka mokhoa o ts'oanang le letsho tlas'a khanya.
Pampiri ea graphite e kenngoa ka lipoleiti tsa graphite 'me e emisoa ka holim'a graphite crucible bakeng sa khōlo ea kristale.
1.2 Sekhomaretsi:
The viscosity ea photoresist ama haholo filimi botenya ho tšoana. Ka lebelo le ts'oanang la spin, viscosity e tlase e fella ka lifilimi tse tšesaane le tse ts'oanang tsa sekhomaretsi. Ka hona, photoresist e tlaase-viscosity e khethoa ka har'a litlhoko tsa kopo.
Nakong ea teko, ho ile ha fumanoa hore viscosity ea sekhomaretsi sa carbonizing e ama matla a tlamahano pakeng tsa filimi ea carbon le sephaphatha. Viscosity e phahameng e etsa hore ho be thata ho sebelisa ka mokhoa o ts'oanang ho sebelisa spin coater, ha viscosity e tlaase e fella ka matla a fokolang a ho kopanya, e leng se lebisang ho phunyeha ha filimi ea carbon nakong ea mekhoa ea ho kopanya e latelang ka lebaka la phallo ea sekhomaretsi le khatello ea ka ntle. Ka lipatlisiso tsa liteko, viscosity ea sekhomaretsi sa carbonizing se ne se ikemiselitse ho ba 100 mPa·s, 'me viscosity ea sekhomaretsi se tlamang se behiloe ho 25 mPa·s.
1.3 Sesebelisoa sa ho sebetsa:
Mokhoa oa ho theha filimi ea carbon holim'a sephaephe sa SiC o kenyelletsa carbonizing lera la sekhomaretsi holim'a SiC wafer surface, e lokelang ho etsoa sebakeng sa vacuum kapa se sirelelitsoeng ke argon. Liphetho tsa liteko li bonts'a hore tikoloho e sirelelitsoeng ka argon e loketse ho theha filimi ea carbon ho feta tikoloho e phahameng ea vacuum. Haeba ho sebelisoa tikoloho ea vacuum, boemo ba vacuum bo lokela ho ba ≤1 Pa.
Mokhoa oa ho kopanya kristale ea peo ea SiC e kenyelletsa ho kopanya sephaphatha sa SiC ho pampiri ea graphite / pampiri ea graphite. Ha ho nahanoa ka phello e senyang ea oksijene ho lisebelisoa tsa graphite mochesong o phahameng, ts'ebetso ena e hloka ho etsoa tlas'a maemo a vacuum. Tšusumetso ea maemo a fapaneng a vacuum holim'a lera la sekhomaretsi e ile ea ithutoa. Liphetho tsa liteko li bontšoa ho Lethathamo la 1. Ho ka bonoa hore tlas'a maemo a tlaase a vacuum, limolek'hule tsa oksijene moeeng ha li tlosoe ka ho feletseng, e leng se lebisang ho likarolo tse sa phethoang tsa sekhomaretsi. Ha boemo ba vacuum bo le ka tlase ho 10 Pa, phello ea khoholeho ea limolek'hule tsa oksijene lera la sekhomaretsi e fokotsehile haholo. Ha boemo ba vacuum bo le ka tlase ho 1 Pa, phello ea khoholeho e felisoa ka botlalo.
Nako ea poso: Jun-11-2024