6" Wafer Carrier bakeng sa Aixtron G5

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Semicera's Aixtron G5 6 ″ sejari sa wafer ke karolo e entsoeng ka nepo e etselitsoeng ho fihlela ts'ebetso e nepahetseng lits'ebetsong tsa kholo ea epitaxial. E hahiloe ka ho khetheha bakeng sa tsamaiso ea Aixtron G5, mochine oa thepa o etsa bonnete ba hore ho na le botsitso bo botle le ho sebetsana le seaparo sa seaparo sa seaparo se tšoanang nakong ea mekhoa e phahameng ea mocheso. Ka lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa Semicera le boiphihlelo, sejari sena sa liphaephe se ntlafatsa ts'ebetso le ts'epahalo ea tlhahiso ea semiconductor, se e etsa sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa liindasteri tse hlokang ts'ehetso le ho ts'oaroa ka mokhoa o nepahetseng. Re labalabela ho ba molekane oa hau oa nako e telele Chaena.

Re romelle lengolo-tsoibila

Lintlha tsa Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

6 '' Wafer Carrier bakeng sa Aixtron G5 ka Semicera e etselitsoe ho fihlela litlhoko tse boima tsa mekhoa ea ho hōla ha epitaxial tsamaisong ea Aixtron G5. E entsoe ka graphite ea boleng bo holimo, senasejari sa sephaphathae tiisa botsitso le ho ts'oana nakong eaCVDleMekhoa ea MOCVD, ho etsa hore ho behoe ka nepo mochining oa epi.

Ka asilicon carbide ceramicCoating, 6 '' Wafer Carrier bakeng sa Aixtron G5 e fana ka nako e telele e tsitsitseng le ho hanyetsa mocheso, e etsa hore e be e loketseng bakeng sa lisebelisoa tsa mocheso o phahameng kholong ea epitaxial. Sehlahisoa sena se etselitsoe ho ts'ehetsa hantlesephaphathaho sebetsana le ho eketsa ts'ebetso tlhahisong ea semiconductor.

Ho Semicera, re tsepamisitse maikutlo ho faneng ka tharollo ea maemo a holimo bakeng sa indasteri ea semiconductor. Li-carriers tsa rona li etselitsoe ho ts'epahala, ho netefatsa ts'ebetso e bonolo lits'ebetsong tsa Aixtron G5 le tse ling.CVD epitaxyli-reactor. Hore na o sebetsa ka silicon carbide kapa lisebelisoa tse ling, sepalangoang sena sa liphaphatha se tiisa ho nepahala le ho tsitsa ho hlokahalang bakeng sa tlhahiso e tsoetseng pele ea semiconductor.

Likarolo tsa Bohlokoa:

• E ntlafalitsoe bakeng sa litsamaiso tsa Aixtron G5 le li-reactor tse ling tsa CVD MOCVD.
• Sesebelisoa sa boleng bo holimo sa graphite se nang le sekontiri sa silicon carbide ceramic bakeng sa ho tšoarella ho matlafalitsoeng.
• E loketseng bakeng sa mekhoa ea ho hōla ha epitaxial e hlokang ho nepahala le botsitso ba mocheso.
• Ts'ebetso e tšepahalang ea li-wafer libakeng tse rarahaneng tsa semiconductor.

Semicera e ikemiselitse ho fana ka litharollo tsa maemo a holimo, ho netefatsa hore 6'' Wafer Carrier e 'ngoe le e 'ngoe e kopana le litekanyetso tse phahameng ka ho fetisisa bakeng sa litlhoko tsa hau tsa epitaxy.