Fused Quartz Pedestal ho tloha Semicera e entsoe ka boqhetseke ho fana ka tšehetso e ke keng ea lekanngoa le botsitso lits'ebetsong tse fapaneng tsa mocheso o phahameng. E entsoe ho tlohaquartz e hloekileng haholo, pedestal ena e nepahetse bakeng sa mekhoa ea semiconductor, ho kenyelletsa le ho hasanasephaphathatshebetso le LCVD. Ho hanyetsa mocheso oa eona ho ikhethang le ho tšoarella ha lik'hemik'hale ho etsa hore e be khetho e nepahetseng bakeng sa tikoloho e boima.
Ho Semicera, re etelletsa boleng pele, ho netefatsa hore lihlahisoa tsa rona tsa khalase tsa quartz tse kopaneng li fihlela maemo a holimo. The fused quartz pedestal ha e ntlafatse ts'ebetso feela empa hape e fana ka tharollo e theko e tlaase bakeng sa ba batlang likhetho tse tšepahalang tsa khalase ea silika. Hore na oa e hloka bakeng sa ts'ebeliso ea semiconductor quartz kapa ts'ebeliso e 'ngoe e ikhethang, pedestal ea rona e ikhetha ka ho tšoarella le ho nepahala ha eona.
Melemo ea Fused Quartz Material
1.Ho hanyetsa mocheso o phahameng
Fused Quartz Pedestal e ithorisa ka ntlha e bonolo ea hoo e ka bang 1730°C, e e lumellang ho mamella tšebeliso ea nako e telele mochesong o tlohang ho 1100°C ho isa ho 1250°C. Ho feta moo, e ka mamella ho pepeseha ha nako e khutšoane mochesong o ka holimo ho 1450°C.
2.Corrosion Resistance
Fused Quartz Pedestal ha e na lik'hemik'hale ho li-acid tse ngata, ntle le hydrofluoric acid. Ho hanyetsa ha eona asiti ho feta ha lirafshoa ka makhetlo a 30 le tšepe e sa hloekang ka makhetlo a 150. Lithempereicharang tse phahameng, ha ho ntho e 'ngoe e ka lumellanang le botsitso ba lik'hemik'hale tsa quartz e kopantsoeng, e leng se etsang hore e be khetho e nepahetseng bakeng sa tikoloho e thata ea lik'hemik'hale.
3. Thermal Stability
E 'ngoe ea likarolo tse hlahelletseng tsa Fused Quartz Pedestal ke coefficient ea eona e nyane ea katoloso ea mocheso. Thepa ena e e lumella ho mamella liphetoho tse matla tsa mocheso ntle le ho phatloha. Ka mohlala, e ka futhumatsoa ka potlako ho 1100 ° C ebe e qoelisoa metsing ka mocheso oa kamore ntle le ho boloka tšenyo-e leng tšobotsi ea bohlokoa bakeng sa mekhoa ea ho etsa lintho tse ngata haholo.
