MOCVD Susceptor bakeng sa Khōlo ea Epitaxial

MOCVD Susceptor bakeng sa Khōlo ea Epitaxial ka semicera, tharollo e ka sehloohong e etselitsoeng ho ntlafatsa mokhoa oa ho hōla oa epitaxial bakeng sa likopo tse tsoetseng pele tsa semiconductor. Semicera's MOCVD Susceptor e tiisa taolo e nepahetseng holim'a mocheso le ho beoa ha thepa, e e etsa khetho e nepahetseng bakeng sa ho fihlela boleng ba Si Epitaxy le SiC Epitaxy. Kaho ea eona e matla le conductivity e phahameng ea mocheso e nolofalletsa ts'ebetso e tsitsitseng libakeng tse hlokang, ho netefatsa ho tšepahala ho hlokahalang bakeng sa mekhoa ea ho hōla ha epitaxial.

MOCVD Susceptor ena e lumellana le mekhoa e sa tšoaneng ea epitaxial, ho kenyelletsa le tlhahiso ea Monocrystalline Silicon le kholo ea GaN ho SiC Epitaxy, e leng se etsang hore e be karolo ea bohlokoa bakeng sa bahlahisi ba batlang liphetho tsa maemo a holimo. Ho feta moo, e sebetsa ka mokhoa o ts'oanang le PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, le RTP Carrier system, e ntlafatsa ts'ebetso ea ts'ebetso le chai. Sesebelisoa se boetse se loketse lits'ebetso tsa LED Epitaxial Susceptor le mekhoa e meng e tsoetseng pele ea tlhahiso ea semiconductor.

Ka moralo oa eona o feto-fetohang, mokelikeli oa MOCVD oa semicera o ka fetoloa hore o sebelisoe ho Pancake Susceptors le Barrel Susceptors, e fanang ka maemo a bonolo ho li-setups tse fapaneng tsa tlhahiso. Ho kopanngoa ha Likarolo tsa Photovoltaic ho eketsa ts'ebeliso ea eona, ho etsa hore e be e loketseng bakeng sa indasteri ea semiconductor le ea letsatsi. Tharollo ena e phahameng ea ts'ebetso e fana ka botsitso bo botle ba mocheso le ho tšoarella, ho netefatsa katleho ea nako e telele mekhoeng ea ho hōla ha epitaxial.