Netefatso ea Kholo
Thesilicon carbide (SiC)likristale tsa peo li ile tsa lokisoa kamora ts'ebetso e boletsoeng mme tsa netefatsoa ka kholo ea kristale ea SiC. Sethala sa kholo se sebelisitsoeng e ne e le sebōpi se ikemetseng sa SiC se nang le mocheso oa kholo ea 2200 ℃, khatello ea kholo ea 200 Pa, le nako ea kholo ea lihora tsa 100.
Tokisetso e ne e ameha a6-inch SiC sephaphathaka lifahleho tsa carbon le silicon tse bentšitsoeng, asephaphathaho lekana ha botenya ba ≤10 µm, le sefahleho sa silicon sa ≤0.3 nm. Ho ile ha lokisoa pampiri ea graphite ea bophara ba limilimithara tse 200, 500 µm e tenya, hammoho le sekhomaretsi, joala, le masela a se nang lint.
TheSephaphatha sa SiCe ne e kolobisitsoe ka sekhomaretsi holim'a bokaholimo ba metsotsoana e 15 ho 1500 r/min.
Sekhomaretsi holim'a tlamahano holim'aSephaphatha sa SiCe ne e omisitsoe ka poleiti e chesang.
Pampiri ea graphite leSephaphatha sa SiC(bonding holim'a sheba fatše) li ne li stacked ho tloha tlase ho ea holimo 'me a behoa ka peō kristale hot tobetsa sebōpi. Ho hatella ho chesang ho ile ha etsoa ho ea ka mokhoa oa khatiso o chesang esale pele. Setšoantšo sa 6 se bontša bokaholimo ba kristale ea peo ka mor'a ts'ebetso ea kholo. Ho ka bonoa hore bokaholimo ba kristale ea peo bo boreleli ha bo na matšoao a delamination, ho bonts'a hore likristale tsa peo ea SiC tse lokiselitsoeng thutong ena li na le boleng bo botle le lera le letenya la tlamahano.
Qetello
Ha ho nahanoa ka mekhoa ea hona joale ea ho kopanya le ho fanyeha bakeng sa ho lokisa kristale ea peo, ho ile ha etsoa tlhahiso ea ho kopanya ho kopanya le mokhoa oa ho fanyeha. Thuto ena e tsepamisitse maikutlo holim'a ho lokisetsa filimi ea carbon lesephaphatha/ graphite paper bonding process e hlokahalang bakeng sa mokhoa ona, e lebisang ho liqeto tse latelang:
The viscosity ea sekhomaretsi se hlokahalang bakeng sa filimi ea carbon holim'a sephaphatha e lokela ho ba 100 mPa·s, ka mocheso oa carbonization oa ≥600℃. Sebaka se nepahetseng sa carbonization ke sepakapaka se sirelelitsoeng ke argon. Haeba e etsoa tlas'a maemo a vacuum, tekanyo ea vacuum e lokela ho ba ≤1 Pa.
Ka bobeli carbonization le mekhoa e tlamahano e hloka ho folisoa ha mocheso o tlase oa carbonization le li-adhesives tse tlamang holim'a sekoahelo ho leleka likhase ho tloha sekhomaretsing, ho thibela ho phunya le bofokoli bo se nang letho karolong ea ho kopanya nakong ea carbonization.
Sekhomaretsi se tlamang bakeng sa pampiri ea wafer / graphite se lokela ho ba le viscosity ea 25 mPa·s, ka khatello ea ho kopanya ea ≥15 kN. Nakong ea ts'ebetso ea ho kopanya, mocheso o lokela ho phahamisoa butle-butle sebakeng sa mocheso o tlase (<120℃) nakong ea lihora tse ka bang 1.5. Netefatso ea kholo ea kristale ea SiC e netefalitse hore likristale tse lokiselitsoeng tsa peo ea SiC li fihlela litlhoko tsa kholo ea boleng bo holimo ea kristale ea SiC, e nang le bokaholimo bo boreleli ba kristale ea peō mme ha ho na pula.
Nako ea poso: Jun-11-2024