TheQuartz Glass Pedestalho tsoa ho Semicera e entsoe ka makhethe bakeng sa lits'ebetso tse phahameng tsa ts'ebetso ho tlhahiso ea semiconductor le liindasteri tse amanang le tsona. E entsoe kaquartz e hloekileng haholo, pedestal ena e netefatsa botsitso bo ikhethang ba mocheso le ho hanyetsa lik'hemik'hale ka tsela e babatsehang, e leng se etsang hore e be se loketseng bakeng sa libaka tse hlokang.
quartz pedestal ea rona e fana ka ts'ehetso e tšepahalang nakong ea lits'ebetso tse mahlonoko tse kang LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) le phallo.sephaphathatshebetso. Ka boleng ba eona bo holimo, khalase ea silica e kopantsoeng e sebelisitsoeng ha ho etsoa lipehelo tsa rona e fokotsa likotsi tsa ts'oaetso, e netefatsa botšepehi ba lihlahisoa tsa hau.
Ho Semicera, re ikemiselitse ho fana ka lihlahisoa tsa boleng bo holimo tse fihlelang maemo a thata a indasteri. Ea ronaQuartz Glass Pedestale etselitsoe ho ts'ehetsa lits'ebetso tse fapaneng ka nepo ha e ntse e boloka botsitso le ts'epahalo. Ebang ke bakeng sa lipatlisiso, nts'etsopele, kapa tlhahiso, pedestal ena ke karolo ea bohlokoa bakeng sa ho fumana litholoana tse ntle ts'ebetsong ea hau.
re utloisisa bohlokoa ba lisebelisoa tsa boleng lefapheng la semiconductor. Likarolo tsa rona tsa khalase tsa quartz tse kopaneng ha li tšoarelle feela empa hape li na le theko ea tlholisano. Quartz e kopantsoeng e sebelisoang litsing tsa rona e fana ka ts'ebetso e ntle haholo, e etsa hore e be khetho e ratoang bakeng sa litsebi tse batlang ho ts'epahala ntle le ho sekisetsa boleng.
Melemo ea Fused Quartz Material
1.Ho hanyetsa mocheso o phahameng
Fused Quartz Pedestal e ithorisa ka ntlha e bonolo ea hoo e ka bang 1730°C, e e lumellang ho mamella tšebeliso ea nako e telele mochesong o tlohang ho 1100°C ho isa ho 1250°C. Ho feta moo, e ka mamella ho pepeseha ha nako e khutšoane mochesong o ka holimo ho 1450°C.
2.Corrosion Resistance
Fused Quartz Pedestal ha e na lik'hemik'hale ho li-acid tse ngata, ntle le hydrofluoric acid. Ho hanyetsa ha eona asiti ho feta ha lirafshoa ka makhetlo a 30 le tšepe e sa hloekang ka makhetlo a 150. Lithempereicharang tse phahameng, ha ho ntho e 'ngoe e ka lumellanang le botsitso ba lik'hemik'hale tsa quartz e kopantsoeng, e leng se etsang hore e be khetho e nepahetseng bakeng sa tikoloho e thata ea lik'hemik'hale.
3. Thermal Stability
E 'ngoe ea likarolo tse hlahelletseng tsa Fused Quartz Pedestal ke coefficient ea eona e nyane ea katoloso ea mocheso. Thepa ena e e lumella ho mamella liphetoho tse matla tsa mocheso ntle le ho phatloha. Ka mohlala, e ka futhumatsoa ka potlako ho 1100 ° C ebe e qoelisoa metsing ka mocheso oa kamore ntle le ho boloka tšenyo-e leng tšobotsi ea bohlokoa bakeng sa mekhoa ea ho etsa lintho tse ngata haholo.
