Thermal oxide layer ea silicon wafer ke lera la oxide kapa lesela la silika le entsoeng holim'a lesela le se nang letho la silicon tlas'a maemo a mocheso o phahameng o nang le oxidizing.Thermal oxide layer ea silicon wafer hangata e lengoa ka har'a sebōpi se tšekaletseng, 'me mocheso oa mocheso oa kholo hangata ke 900 ° C ~ 1200 ° C, 'me ho na le mekhoa e' meli ea ho hōla ea "wet oxidation" le "dry oxidation". Thermal oxide layer ke "grown" oxide layer e nang le homogeneity e phahameng le matla a phahameng a dielectric ho feta CVD deposited oxide layer. Thermal oxide layer ke lera le letle la dielectric joalo ka insulator. Lisebelisoa tse ngata tse thehiloeng ho silicon, lera la oxide ea mocheso le phetha karolo ea bohlokoa e le sebaka se thibelang doping le holim'a dielectric.
Malebela: Mofuta oa oxidation
1. Oxidation e omileng
Silicon e arabela ka oksijene, 'me lesela la oxide le leba karolong ea basal. Oxidation e omileng e hloka ho etsoa ka mocheso oa 850 ho isa ho 1200 ° C, mme sekhahla sa kholo se tlase, se ka sebelisoang bakeng sa kholo ea heke ea insulation ea MOS. Ha ho hlokahala lesela la silicon oxide ea boleng bo holimo, ho hlokahala hore ho be le oxidation e omileng ho feta ea oxidation e metsi.
Matla a oxidation a omileng: 15nm ~ 300nm(150A ~ 3000A)
2. Oxidation e metsi
Mokhoa ona o sebelisa motsoako oa haedrojene le oksijene e hloekileng haholo ho chesa ~ 1000 ° C, ka hona ho hlahisa mouoane oa metsi ho etsa lera la oxide. Le hoja oxidation e metsi e ke ke ea hlahisa lera la boleng bo phahameng ba oxidation e le oxidation e omeletseng, empa e lekaneng ho sebelisoa e le sebaka sa ho itšehla thajana, ha e bapisoa le oxidation e omileng e na le molemo o hlakileng ke hore e na le sekhahla se phahameng sa ho hōla.
Bokhoni ba oxidation ea metsi: 50nm~ 15µm (500A ~15µm)
3. Mokhoa o omileng - mokhoa o metsi - mokhoa o omileng
Ka mokhoa ona, oksijene e hloekileng e omeletseng e lokolloa ka seboping sa oxidation mohatong oa pele, hydrogen e eketsoa bohareng ba oxidation, 'me hydrogen e bolokoa qetellong ho ntšetsa pele oxidation ka oksijene e hloekileng e omileng ho theha sebopeho se teteaneng sa oxidation ho feta. ts'ebetso e tloaelehileng ea oxidation ea metsi ka mokhoa oa mouoane oa metsi.
4. TEOS oxidation
| Mokhoa oa Oxidation | Oxidation e metsi kapa Oxidation e omileng |
| Diameter | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Botenya ba Oxide | 100 Å ~ 15µm |
| Mamello | +/- 5% |
| Bokaholimo | Single Side Oxidation(SSO) / Double Sides Oxidation(DSO) |
| Sebopi | Horizontal tube sebōpi |
| Khase | Khase ea haedrojene le oksijene |
| Mocheso | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Lenane la refractive | 1.456 |
